青岛育豪微电子设备有限公司111
青岛育豪微电子设备有限公司始建于2008年，公司座落在山东青岛，主厂区占地8000多平方米，建筑面积6000多平方米，职工80人，公司拥有省级研发技术中心一个，其中工程师8人，大专及同等以上学历占67%。公司通过吸引国内外先进的技术与自主研发相结合，不断创新。主要生产扩散炉、链式网带炉及真空炉等等额处理设备。多项产品获得国家发时、使用新型专利。公司拥有先进的制造设备和完善的检测手段。等进近百台专业精密制造设备与检测设备。为客户提供优质的产品，并可以按客户的要求设计加工。
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以人为本的经营理念
我们置员工的安全和身体健康为企业至高利益，竭尽所能保障员工的身体健康和安全，共享企业发展成果。
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以客户为上帝的销售理念
我们坚信客户就是上帝，我们会为客户提供最热情的服务，最优质的产品，***的价格，最完善的售后服务。对于客户的咨询与抱怨做到耐心的倾听，快速反应，解决到位。让我们的客户放心的使用我们的所有产品。
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以质量为根本的生产理念
质量是企业的立足之本，以质量为根本的生产理念是生产理念是企业名称所有员工的工作理念，确保不让一台有缺陷的设备流入市场，不让一台不完善的设备流入客户手中，**限度的提高 产品的合格率。
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以速度为中心的售后服务理念
公司售后部门在接到客户发来质量问题单之后，以最快的速度赶往客户产品现场，以最快的速度为客户排除故障，保障客户设备的正常运行。
本公司供应其他行业专用设备的扩散炉，品质保证，欢迎洽谈全自动程控扩散炉扩散炉是半导体器件及集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、淀积、退火及合金等工艺的热加工设备，主要由加热炉、净化工作台、推拉舟系统、气源柜、控制系统等组成。采用高精度智能化及性能极为先进的仪器，适合连续长时间、高精度、高稳定度控温工作，性能十分可靠。可加工晶片尺寸：2—8英寸；工艺炉管：1-4管；推拉舟细分驱动，运行平稳可靠。可实现工艺类型有（根据工艺需要配套质量流量计或玻璃转子流量计）；干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化、磷扩散、硼扩散、退火、合金、玻璃钝化等工艺。按控制方式分为微控扩散炉和程控扩散炉。程控扩散炉：能实现升温、恒温、降温的自动控制及过程控制，100步工艺能存储多条工艺曲线，偏移量自动修正，智能pid控制，具有断偶、超温保护、极限报警等功能。微控扩散炉：可实现温度、推拉舟、气路的全自动控制及过程控制，可适用于各种工艺类型。控制器独立工作，互不干扰。由工控计算机编程操作、独立控制、显示，可实现工厂自动化管理，各炉管都有独立的温度、推拉舟、气路控制系统。功能特点：★全中文windows操作界面，可编辑参数，操作方便。 ★可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步。★工艺曲线的自动运行控制功能。 ★自动运行中可暂停/继续运行功能。 ★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。 ★智能升降温斜率制功能。★pid参数自整定功能。 ★系统故障的检测与报警功能。 ★智能悬臂推拉舟控制功能。 ★停电后断点继续运行功能。★工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）。★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。 主要技术指标：★工作温度范围：300℃-1300℃； ★恒温区长度范围：300mm-800mm；★恒温区精度范围：600℃-1300℃≤±0.5℃； 300℃-600℃≤±1℃ ★开机重复性：±1℃ ★升温时间：60min；★温速率可控范围：爬升率20℃m（**）下降率5℃/min（**）
扩散炉系列 .gif
全自动微控扩散炉
系统组成：扩散炉主机、推拉舟及净化工作台、气源柜、排毒柜、微机控制柜 扩散炉管数：1~4管 主要技术指标：★炉管内径：¢90~¢240（2英寸~6英寸） ★恒温区长度及精度：≤1000mm±0.5℃（300℃~1290℃）★控温仪表：进口高精度控温仪 ★气源路数：主管道1~4路 ★气体种类：n2、h2、o2、hcl等 ★气源控制：mfc或浮子流量计★推拉舟行程：**2000mm★推拉舟速度范围及精度：（20~1000）±2mm/min ★推拉舟方式：简易式、悬臂式、sic硅桨式★冷却方式：水冷+风冷 ★工控机：工控机控制 设备特性： 具有多条工艺曲线，调用方便快捷；运行中，具有停电记忆功能；触摸微机界面，操作方便；具有超温保护功能。
程控扩散炉
产品说明：扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。主要技术指标：★可处理硅片尺寸：2—8英寸 ★外型形式：卧式1—4管结构 ★工作温度：200℃—1300℃★恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃★单点温度稳定性、重复性：≤±0.5℃／24h★温度斜变：可控升温速率20℃／min， ★可控降温速率：5℃／min ★送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉★气路系统：1—5路工艺气体／管 ★气体控制：全自动mfc、手动浮子流量计 ★控制方式：工控机、触摸屏
立式扩散炉：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，用2~8英寸工艺尺寸系统组成：扩散炉主机、升降丝杠、微机控制柜等组成。 主要技术指标： ★炉管内径：¢90~¢500★恒温区长度及精度：≤1000mm±0.5℃（300℃~1290℃） ★气体种类：n2、h2、o2、hcl等★气源控制：mfc或浮子流量计★推拉舟行程：**1800mm ★推拉舟速度范围及精度：（20~1000）±2mm/min★冷却方式：水冷+风冷 设备特性：控制系统分类产品：温控系统包括：日本fp23+sr23+sr23配置、日本mi13配置、以及日本fp93配置等等…触摸屏配置包括：日本三菱、日本欧姆龙、日本松下、厦门宇电、以及公司自制研发8500系列高精度控温系统…控制柜、气路管件控制系统：日本山武、日本smc、德国费斯托、以及国产七星华创等品牌…
系统组成：扩散炉主机、推拉舟及净化工作台、气源柜、排毒柜、微机控制柜 扩散炉管数：1~4管 主要技术指标：★炉管内径：¢90~¢240（2英寸~6英寸） ★恒温区长度及精度：≤1000mm±0.5℃（300℃~1290℃）★控温仪表：进口高精度控温仪 ★气源路数：主管道1~4路 ★气体种类：n2、h2、o2、hcl等 ★气源控制：mfc或浮子流量计★推拉舟行程：**2000mm★推拉舟速度范围及精度：（20~1000）±2mm/min ★推拉舟方式：简易式、悬臂式、sic硅桨式★冷却方式：水冷+风冷 ★工控机：工控机控制 设备特性： 具有多条工艺曲线，调用方便快捷；运行中，具有停电记忆功能；触摸微机界面，操作方便；具有超温保护功能

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青岛育豪微电子设备有限公司
陈庆建
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中国 山东 青岛市城阳区 流亭工业园 协荣路3号